المستخلص: |
الجرافين من المواد الحديثة الاكتشاف وهو يمتلك خصائص استثنائية جعلته محط اهتمام الباحثين والصناعيين. من بين الطرق المستعملة في إنتاج الجرافين تقنية CVD. نهتم في دراستنا هذه بإنتاج الجرافين بتقنية CVD المحفزة بالبلازما PECVD، انطلاقا من الخليط الغازي CH4 /H2 إن التفاعلات الكيميائية قرب سطح الركيزة (النحاس) تؤدي إلى نمو الطبقة الرقيقة للجرافين. يهتم عملنا هذا بتحديد تراكيز الأفراد الكيميائية CH, CH2, CH3 المساهمة في نمو الجرافين وحساب معدلات التغطية للركيزة (النحاس) اعتمدنا في دراستنا على معادلة الانتشار ومعادلة لونجميير. للحل العددي لمعادلة الانتشار استعملنا طريقة الفروق المنتهية وبرمجة الحل بالطريقة التكرارية غوص- صايدل لحساب تراكيز الجذور المساهمة في نمو الجرافين. وقمنا بحساب معدلات التغطية من معادلة لونجميير. إن النتائج المتحصل عليها أبدت توافقا مع نتائج أعمال أخرى.
|