دراسة عددية لغاز الأرغون عند توضع الطبقات الرقيقة بواسطة تقنية الرنين السيكلوتروني PECVD - ECR
| المؤلف الرئيسي: | برقوق، السعدية (مؤلف) |
|---|---|
| مؤلفين آخرين: | خلفاوي، فتحي (مشرف) , بلة، زكية (مشرف) |
| التاريخ الميلادي: |
2019
|
| موقع: | ورقلة |
| الصفحات: | 1 - 56 |
| رقم MD: | 1161216 |
| نوع المحتوى: | رسائل جامعية |
| اللغة: | العربية |
| الدرجة العلمية: | رسالة ماجستير |
| الجامعة: | جامعة قاصدي مرباح - ورقلة |
| الكلية: | كلية الرياضيات وعلوم المادة |
| الدولة: | الجزائر |
| قواعد المعلومات: | Dissertations |
| مواضيع: | |
| رابط المحتوى: |
عدد مرات التحميل
9
| المستخلص: |
يهتم عملنا بدراسة الخصائص الكهربائية لغاز الأرغون المستعمل في تقنية توضع الطبقات الرقيقة بواسطة بلازما الرنين السيكلوتروني (PECVD - ECR)، التي تعد من أكثر التقنيات استخداما في مجال الإلكترونيات الدقيقة. تم اختيار مفاعل من نوع توزيع الرنين السيكلوتروني (DECR) للدراسة. قمنا بتحضير النمذجة العددية لدراسة الخصائص الكهربائية (الكثافة الإلكترونية ne، الكثافة الأيونية nAr+ وكثافة الجسيمات الحيادية (nAr في وجود حقل مغناطيسي متغير مع الموضع. تمت الدراسة في بعد واحد Z، وباعتبار النظام مستقر. باستعمال المعطيات التجريبية لعملT. V. Tran 1992 Tgaz=300K) ،Pgaz=1.5mTorr ،(Te=1.25Ev . قمنا بحساب هندسي وعددي لمقادير الحقل المغناطيسي وكذا حساب معامل الحركية μe,i ومعامل الانتشار De,i في وجود الحقل المغناطيسي. اعتمدنا على نموذج الموائع وبالتحديد معادلة الاستمرارية في النمذجة. تم إنجاز برنامج بلغة الفورتران 77، بتطبيق طريقة الفروق المنتهية وخوارزمية غوص صايدل التكرارية، تمكنا من حساب توزيع الكثافات على طول المحور Z. أبدت النتائج المحسوبة توافق كبير مع عمل T. V. Tran. |
|---|
عناصر مشابهة
-
مساهمة في دراسة الطبقات الرقيقة للخلايا الشمسية a-Si:H و a-Si المرسبة بتقنية PECVD
بواسطة: ميموني، إيمان منشور: (2016) -
دراسة الخصائص البنيوية والضوئية للأفلام الرقيقة لـ TiO2 المحضرة بطريقة الـ Sol-Gel
بواسطة: زنو، إيمان منشور: (2016) -
دراسة الخصائص الفيزيائية للطبقات الرقيقة لأكسيد الزنك (Zno) مطعمة بـ (La) مرسبة بتقنية الرش الكيميائي الحراري
بواسطة: شدالة، خديجة منشور: (2016) -
Relative Magnitudes and Phases of Bremsstrahlung and Cyclotron cooling from off-axis Accretion Shocks onto Magnetic White Dwarfs
بواسطة: البصول، معتز حسين محمد منشور: (2009) -
The Characterization of ITO/Glass, SiO2/Si Systems Using Spectroscopic Ellipsometry
بواسطة: Belouettar, Amina منشور: (2022)
