| LEADER |
03197nam a2200313 4500 |
| 001 |
1534067 |
| 041 |
|
|
|a ara
|
| 100 |
|
|
|9 622166
|a برقوق، السعدية
|e مؤلف
|
| 245 |
|
|
|a دراسة عددية لغاز الأرغون عند توضع الطبقات الرقيقة بواسطة تقنية الرنين السيكلوتروني PECVD - ECR
|
| 260 |
|
|
|a ورقلة
|c 2019
|
| 300 |
|
|
|a 1 - 56
|
| 336 |
|
|
|a رسائل جامعية
|
| 502 |
|
|
|b رسالة ماجستير
|c جامعة قاصدي مرباح - ورقلة
|f كلية الرياضيات وعلوم المادة
|g الجزائر
|o 0233
|
| 520 |
|
|
|a يهتم عملنا بدراسة الخصائص الكهربائية لغاز الأرغون المستعمل في تقنية توضع الطبقات الرقيقة بواسطة بلازما الرنين السيكلوتروني (PECVD - ECR)، التي تعد من أكثر التقنيات استخداما في مجال الإلكترونيات الدقيقة. تم اختيار مفاعل من نوع توزيع الرنين السيكلوتروني (DECR) للدراسة. قمنا بتحضير النمذجة العددية لدراسة الخصائص الكهربائية (الكثافة الإلكترونية ne، الكثافة الأيونية nAr+ وكثافة الجسيمات الحيادية (nAr في وجود حقل مغناطيسي متغير مع الموضع. تمت الدراسة في بعد واحد Z، وباعتبار النظام مستقر. باستعمال المعطيات التجريبية لعملT. V. Tran 1992 Tgaz=300K) ،Pgaz=1.5mTorr ،(Te=1.25Ev . قمنا بحساب هندسي وعددي لمقادير الحقل المغناطيسي وكذا حساب معامل الحركية μe,i ومعامل الانتشار De,i في وجود الحقل المغناطيسي. اعتمدنا على نموذج الموائع وبالتحديد معادلة الاستمرارية في النمذجة. تم إنجاز برنامج بلغة الفورتران 77، بتطبيق طريقة الفروق المنتهية وخوارزمية غوص صايدل التكرارية، تمكنا من حساب توزيع الكثافات على طول المحور Z. أبدت النتائج المحسوبة توافق كبير مع عمل T. V. Tran.
|
| 653 |
|
|
|a الطبقات الرقيقة
|a الرنين السيكلوتروني
|a الإلكترونيات الدقيقة
|a النمذجة العددية
|a الحقول المغناطيسية
|
| 700 |
|
|
|a خلفاوي، فتحي
|e مشرف
|9 507029
|
| 700 |
|
|
|9 622167
|a بلة، زكية
|e مشرف
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-T.pdf
|y صفحة العنوان
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-A.pdf
|y المستخلص
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-C.pdf
|y قائمة المحتويات
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-F.pdf
|y 24 صفحة الأولى
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-1.pdf
|y 1 الفصل
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-2.pdf
|y 2 الفصل
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-3.pdf
|y 3 الفصل
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-O.pdf
|y الخاتمة
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0233-R.pdf
|y المصادر والمراجع
|
| 930 |
|
|
|d y
|
| 995 |
|
|
|a Dissertations
|
| 999 |
|
|
|c 1161216
|d 1161216
|
