NO2Gas Sensor Utilizing Fe2O3Thin Films Prepared By DC-Magnetron Sputtering Method
| العنوان بلغة أخرى: |
متحسس غاز ثاني اوكسيد النايتروجين باستخدام الصفائح الرقيقية لمادة ثالث اوكسيد الحديد بطريقة الترذيذ المغناطيسي DC |
|---|---|
| المصدر: | مجلة كلية المأمون |
| الناشر: | كلية المأمون الجامعة |
| المؤلف الرئيسي: | وادى، قاسم مهدى (مؤلف) |
| مؤلفين آخرين: | عبداللطيف، عقيل نافع (م. مشارك) |
| المجلد/العدد: | ع30 |
| محكمة: | نعم |
| الدولة: |
العراق |
| التاريخ الميلادي: |
2017
|
| الصفحات: | 161 - 173 |
| DOI: |
10.36458/1253-000-030-008 |
| ISSN: |
1992-4453 |
| رقم MD: | 853684 |
| نوع المحتوى: | بحوث ومقالات |
| اللغة: | الإنجليزية |
| قواعد المعلومات: | IslamicInfo, HumanIndex, EcoLink |
| مواضيع: | |
| كلمات المؤلف المفتاحية: |
gas sensor | NO2 | DC-sputtering | Fe2O3 thin film
|
| رابط المحتوى: |
الناشر لهذه المادة لم يسمح بإتاحتها. |
| المستخلص: |
تم دراسة ومناقشة وتوثيق خواص المتحسس الغازي (NO2) المحضر من أوكسيد الحديد Fe2O3 بطريقة الترذيذ بواسطة magnetron – DC على صفائح زجاجية بأسماك مختلفة، وبأوقات ترسيب مختلفة، تم فحص هذه الأغشية الرقيقة بدرجات حرارة مختلفة 200.250.300 درجة مئوية لغرض تحديد حساسية هذا المتحسس الغازي والخواص الكهربائية. في الجزء العملي المتعلق بتحضير المتحسس والفحص تم شرح خطوات الفحص بشكل مختصر مع صور مبسطة للمنظومة التي تم العمل فيها. أجري الفحص لجميع العينات تحت نفس جهد الانحياز وكذلك نفس تركيز الغاز-هواء الحساسية قد تم حسابها من المعادلة المعطاة كما تم شرح الخواص الكهربائية للعينات. أظهرت نتائج هذه الفحوصات ازدياد الحساسية بازدياد السمك وحجم الحبيبات وكذلك بزيادة درجة التشغيل. In our research we investigated and reported the (NO2) gas sensor properties of iron oxide (Fe2O3) thin films prepared via magnetron DC- sputtering with different thicknesses according to various deposition times, each film thickness is tested with different sample temperature (200, 250 and 300) oC in order to enhance gas sensitivity. In the experimental and test procedure parts the preparation and test steps for the sensor were described briefly with simplified figures describing the system. The test was done for all samples under same biasing voltage and gas-air concentration. Sensitivity was calculated using the provided equation. The electrical properties of thin films are also shortly described. The results show that as the film thickness increases the film gas sensitivity increases and for each film thickness, the gas sensitivity increases also as the operating temperature increases |
|---|---|
| ISSN: |
1992-4453 |
عناصر مشابهة
-
Utilization and Measurements of Ferric Oxide Thin Films as a Nitride Dioxide Gas Sensor
بواسطة: Al-Hilli, Bahaa A. M. منشور: (2019) -
Structural and Optical Properties of SnO2 Doped ZnO thin Films Prepared by Pulsed Nd:YAG Laser Deposition
بواسطة: عادم، كاظم عبدالواحد منشور: (2019) -
Effect of Sb-Doping on Optical Properties of Fe2O3 Thin Films
بواسطة: Jabbar, Wasmaa A. منشور: (2019) -
دراسة طيف الأشعة تحت الحمراء للمركبات (MgO)x(Fe2O3)1-x
بواسطة: سليمان، حذامه عبد محمد منشور: (2013) -
Effect of Oxidation Temperature on Optical Properties of In2O3 thin Films
بواسطة: سلمان، عدي نعيم منشور: (2010)
