المستخلص: |
من أجل دراسة اختلال توازن بلازما التفريغ الكهربائي للهيدروجين قمنا بدراسة عددية على الأطياف النظرية الصادرة من البلازما أثناء عملية إنتاج شرائح رقيقة من السيليسيوم. إن الإحاطة بالأشكال الطيفية وكذلك معرفة حالة التوازن الثرموديناميكي للوسط ضروريان لإنجاز دراساتنا. وقد اعتمدنا على معطيات الفيزياء الذرية لمختلف عناصر الوسط (…CI- SiII- SiI- HI) وعلى نموذج نظري وعددي لحساب مختلف أسباب التعريض (الطبيعي، دوبلر، ستارك والتعريض التجريبي. (النتائج المتحصل عليها أثبتت أن البلازما ليست في توازن ثرموديناميكي محلي كما تمكنا من تحديد بعض المستويات المستقرة والمتطابقة مع توزيع ماكسويل بولتزمان. وتدخل أهمية هذه الدراسة مستقبلا في تحديد خصائص البلازما كدرجة الحرارة أو الكثافة الإلكترونية للوسط.
|