حساب توزيع سرعات الأيونات باستعمال محاكاة الديناميكا الجزيئية عند التصادم مه الهدف في تقنية الرش المهبطي لنظام كهربائي مستمر DC
| المؤلف الرئيسي: | قادي، راضية (مؤلف) |
|---|---|
| مؤلفين آخرين: | خلفاوي، فتحي (مشرف) |
| التاريخ الميلادي: |
2015
|
| موقع: | ورقلة |
| الصفحات: | 1 - 48 |
| رقم MD: | 943765 |
| نوع المحتوى: | رسائل جامعية |
| اللغة: | العربية |
| الدرجة العلمية: | رسالة ماجستير |
| الجامعة: | جامعة قاصدي مرباح - ورقلة |
| الكلية: | كلية الرياضيات وعلوم المادة |
| الدولة: | الجزائر |
| قواعد المعلومات: | Dissertations |
| مواضيع: | |
| رابط المحتوى: |
عدد مرات التحميل
6
| المستخلص: |
معرفة حركة ومسار أيونات البلازما والذرات المقتلعة من هدف داخل غرفة الرش المهبطي، له أهمية قصوى في فهم الظواهر المتعلقة بتحضير الطبقات الرقيقة. المحاكاة العددية باستعمال الديناميكا الجزيئية لها إمكانية معتبرة في فهم ظاهرة تفاعل بلازما -سطح. هذه المذكرة تعرض نموذج للمحاكاة العددية بالديناميكا الجزيئية لتفاعل بلازما الأرغون مع سطح الهدف 100 المشكل من ذرات السليسيوم، وذلك أثناء تحضير الطبقات الرقيقة بالرش المهبطي باستعمال تفريغ كهربائي مستمر عالي في حدود 1000 V. وقد اعتمدنا كمون موليير لدراسة تفاعل الأيونات مع سطح الهدف. تحصلنا على توزيع سرعات الأيونات البعيدة عن سطح الهدف وتوزيع سرعات الأيونات القريبة من سطح الهدف وكذلك توزيع سرعات ذرات السليسيوم المقتلعة، ونسبة الأيونات المنعكسة والممتصة، وكذلك مردود الرش. |
|---|
عناصر مشابهة
-
حساب توزيع سرعات الأيونات بإستعمال محاكاة مونتي كارلو عند التصادم مع الهدف في تقنية الرش المهبطي في نظام كهربائي مستمر DC
بواسطة: ساكري، فايزة منشور: (2015) -
مفعول درجة الحرارة الإلكترونية على الخصائص الكهربائية في بلازما التفريغ الكهربائي
بواسطة: قويدري، زينب منشور: (2015) -
حساب درجة الحرارة الإلكترونية أثناء تأين غاز الأرغون خلال غرف التفريغ الكهربائي (استقطاب RF)
بواسطة: ابن خناثة، بدرة منشور: (2016) -
حساب الكثافة الإلكترونية لغاز الأرغون خلال جهاز الرش تحت تردد 40 هرتز
بواسطة: مناصري، شريفة منشور: (2016) -
دراسة الخصائص الكهربائية لبلازما غاز SF6 في جهاز رش مهبطي متناوب RF
بواسطة: رقاقدة، أوريدة منشور: (2020)
