ارسل ملاحظاتك

ارسل ملاحظاتك لنا







A Study of Mathematical Models Used for Spectroscopic Ellipsometry Data Analysis

العنوان بلغة أخرى: دراسة النماذج الرياضية لغايات تحليل بيانات مطيافية القطع الناقص
المؤلف الرئيسي: العظامات، كوثر محمد (مؤلف)
مؤلفين آخرين: الناصر، حسام محمود (مشرف)
التاريخ الميلادي: 2019
موقع: المفرق
الصفحات: 1 - 72
رقم MD: 1095191
نوع المحتوى: رسائل جامعية
اللغة: الإنجليزية
الدرجة العلمية: رسالة ماجستير
الجامعة: جامعة آل البيت
الكلية: كلية العلوم
الدولة: الاردن
قواعد المعلومات: Dissertations
مواضيع:
رابط المحتوى:
صورة الغلاف QR قانون

عدد مرات التحميل

25

حفظ في:
المستخلص: لقد تم في هذه الدراسة إجراء الحسابات التفصيلية لإيجاد المعاملات البصرية للأغشية الرقيقة وبيان المعلومات السطحية باستخدام مطيافية القطع الناقص. إن مطابقة المعطيات التجريبية لمطيافية القطع الناقص بينت أنه بالإمكان تقييم سماكة الأغشية الرقيقة بدقة عالية وكذلك وصف المعاملات البصرية كمعامل الانكسار ومعامل الانطفاء. تم استخدام أربعة نماذج رياضية مختلفة وتم مناقشة الأفكار التي بني عليها أسس اختيار النموذج الأفضل لإجراء المطابقة في كل حالة من حالات الدراسة. لقد تم دراسة عينة (SiC) باستخدام نموذج كوشي وتم توصيف هذه العينة ذات السمك العالي نسبيا استنادا إلى فرضية بناء الطبقة المتدرجة حيث أظهرت النتائج بأن سمك هذا الغشاء يساوي ٧٦٤ نم وأن هناك طبقة خشنة لا يتجاوز سمكها 3.36 نم فوق الغشاء كما تم رسم تغير (λ)n للسطح العلوي وللسطح السفلي للغشاء. وكذلك أظهرت الدراسة أن مطيافية القطع الناقص تقدم معلومات دقيقة عن صفات الأغشية التي تحمل خواصا غير موحدة الخواص كالغشاء العضوي (CoPc) الذي تم نمذجته والقيام بحساب كافة المعاملات البصرية المسؤولة عن الامتصاص في المنطقة الطيفية المدروسة. وتناولت الدراسة أيضا ثلاث عينات تم تحليل بياناتها القطع ناقصيه بناء على استخدام نماذج كوشي، لورنتز، دروده، وغاوس وتم تحري سلوك معامل الانكسار ومعامل الانطفاء وكذلك تم بيان البنية الطبقية لهذه العينات.

عناصر مشابهة