| LEADER |
02832nam a22003017a 4500 |
| 001 |
1496749 |
| 041 |
|
|
|a ara
|
| 100 |
|
|
|9 507117
|a قادي، راضية
|e مؤلف
|
| 245 |
|
|
|a حساب توزيع سرعات الأيونات باستعمال محاكاة الديناميكا الجزيئية عند التصادم مه الهدف في تقنية الرش المهبطي لنظام كهربائي مستمر DC
|
| 260 |
|
|
|a ورقلة
|c 2015
|
| 300 |
|
|
|a 1 - 48
|
| 336 |
|
|
|a رسائل جامعية
|
| 502 |
|
|
|b رسالة ماجستير
|c جامعة قاصدي مرباح - ورقلة
|f كلية الرياضيات وعلوم المادة
|g الجزائر
|o 0089
|
| 520 |
|
|
|a معرفة حركة ومسار أيونات البلازما والذرات المقتلعة من هدف داخل غرفة الرش المهبطي، له أهمية قصوى في فهم الظواهر المتعلقة بتحضير الطبقات الرقيقة. المحاكاة العددية باستعمال الديناميكا الجزيئية لها إمكانية معتبرة في فهم ظاهرة تفاعل بلازما -سطح. هذه المذكرة تعرض نموذج للمحاكاة العددية بالديناميكا الجزيئية لتفاعل بلازما الأرغون مع سطح الهدف 100 المشكل من ذرات السليسيوم، وذلك أثناء تحضير الطبقات الرقيقة بالرش المهبطي باستعمال تفريغ كهربائي مستمر عالي في حدود 1000 V. وقد اعتمدنا كمون موليير لدراسة تفاعل الأيونات مع سطح الهدف. تحصلنا على توزيع سرعات الأيونات البعيدة عن سطح الهدف وتوزيع سرعات الأيونات القريبة من سطح الهدف وكذلك توزيع سرعات ذرات السليسيوم المقتلعة، ونسبة الأيونات المنعكسة والممتصة، وكذلك مردود الرش.
|
| 653 |
|
|
|a تقنية الرش المهبطي
|a محاكاة الديناميكا الجزيئية
|a توزيع سرعات الأيونات
|a النظام الكهربائي المستمر
|
| 700 |
|
|
|a خلفاوي، فتحي
|e مشرف
|9 507029
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-T.pdf
|y صفحة العنوان
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-A.pdf
|y المستخلص
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-C.pdf
|y قائمة المحتويات
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-F.pdf
|y 24 صفحة الأولى
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-1.pdf
|y 1 الفصل
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-2.pdf
|y 2 الفصل
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-3.pdf
|y 3 الفصل
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-O.pdf
|y الخاتمة
|
| 856 |
|
|
|u 9815-058-004-0089-R.pdf
|y المصادر والمراجع
|
| 930 |
|
|
|d y
|
| 995 |
|
|
|a Dissertations
|
| 999 |
|
|
|c 943765
|d 943765
|
