المؤلف الرئيسي: | ساكري، فايزة (مؤلف) |
---|---|
مؤلفين آخرين: | خلفاوي، فتحي (مشرف) |
التاريخ الميلادي: |
2015
|
موقع: | ورقلة |
الصفحات: | 1 - 44 |
رقم MD: | 944065 |
نوع المحتوى: | رسائل جامعية |
اللغة: | العربية |
الدرجة العلمية: | رسالة ماجستير |
الجامعة: | جامعة قاصدي مرباح - ورقلة |
الكلية: | كلية الرياضيات وعلوم المادة |
الدولة: | الجزائر |
قواعد المعلومات: | Dissertations |
مواضيع: | |
رابط المحتوى: |
المستخلص: |
معرفة حركة ومسار أيونات البلازما والذرات المقتلعة من هدف داخل غرفة الرش المهبطي، له أهمية قصوى في فهم الظواهر المتعلقة بتحضير الطبقات الرقيقة. إذ يتعلق الأمر، من جهة بمواضع الأيونات والسرعات القادمة بها ومن جهة أخرى بسرعات الذرات المقتلعة من سطح الهدف. المحاكاة العددية باستعمال طريقة مونتي كارلو لها إمكانية معتبرة في فهم ظاهرة تفاعل بلازما-سطح. هذه المذكرة تعرض نموذج للمحاكاة العددية لمونتي كارلو لتفاعل بلازما الأرغون مع سطح الهدف المتشكل من السيلسيوم، وذلك أثناء تحضير الطبقات الرقيقة بالرش المهبطي بتطبيق تيار كهربائي مستمر. باستعمال كمون موليير تمت دراسة تفاعل أيون الأرغون مع سطح الهدف السيلسيوم. تحصلنا على إحصاء وتوزيع السرعات للأيونات البعيدة من سطح الهدف والقريبة من سطح الهدف وإحصاء وتوزيع ذرات السيلسيوم المقتلعة، مردود الرش، نسبة الأيونات الممتصة والمنعكسة. |
---|